半导体器件的恒温恒湿试验怎么做？

2023-10-21 08:19

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半导体器件的恒温恒湿试验通常在中创仪器中进行，试验标准依据JESD22-A100D。试验步骤如下：

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将半导体器件放置在试验箱中。
设定试验温度范围在30℃到65℃之间，但仅在65℃驻留。
设定试验湿度范围在90%RH到98%RH之间。
控制温度变化速率为8.75℃/h~17.5℃/h。
进行试验，测试时间为1008（-24，+168）小时。
在测试后的48小时内以及96小时内，将设备恢复到正常环境。若设备不是放在试验箱恢复，而是放在一个没有干燥剂的密封袋内，考虑到1/3的烘干（吸湿）速率，则上面的时间分别延长为144和288小时。
在温度从65℃到30℃再到65℃的过程中，相对湿度可能掉到80%，温度箱应有减压功能。
在测试过程中，含有离子污染物的治具需要受到管控。
去离子水的阻抗要求最小阻抗＞1MΩ•cm。
如果进行周期性上电测试，需要指定周期频率和占空比（duty cycle）。